半導體設備由于使用的頻率較高，并要求有一定的線性度，在使用機械式繼電器的時候容易受壽命的影響，同時由于晶體管耦合器或雙向可控硅耦合器的輸出側(cè)單元所具線性度較低，所以在輸出之間通過的信號會發(fā)生失真；
MOS FET繼電器與晶體管耦合器或雙向可控硅耦合器不同，可通過與機械式繼電器相匹配的超群線性度特性，有效抑制信號的失真；可控制模擬信號，所以最適用于測試器、測量設備等，因此，MOS FET繼電器可以完美的配合機械式繼電器使用，也可以替代傳統(tǒng)的光耦和可控硅產(chǎn)品；
MOS FET繼電器，輸出切換電流不會受到輸入電流的影響；
MOS FET繼電器通過極小電流即可運行，可為設備的節(jié)電作貢獻，在達到使用壽命后，輸出電流不會像晶體管耦合器那樣下降，穩(wěn)定的低電流有助于節(jié)能；
晶體管耦合器在增大輸入側(cè)電流時，輸出側(cè)電流也會變大，所以與MOS FET繼電器相比，會消耗更多的電力。LED老化會使輸出也跟隨減弱，由此需要更多的電力；
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